Vacuum technology

  • LIF481V

    Système de mesure linéaire LIF 481 pour la mesure de position dans les applications sous vide poussé et ultravide.

    - Vacuum compatible
    - Pas de mesure de 0,1µm à 1µm
    - Etendue de mesure de 70 mm à 1020 mm
    - Signal de prise d'origine et fins de course

  • LIP481V

    Système de mesure linéaire LIP 481 pour la mesure de position dans les applications sous vide poussé et ultravide.

    - Vacuum compatible
    - Pas de mesure de 0,05µm à 1µm
    - Etendue de mesure de 70 mm à 420 mm

     

     

  • UHV-SPM-MicroscopeCaractéristiques des systèmes de mesure HEIDENHAIN pour le vide

    Couramment employés dans les milieux de la recherche et de l'industrie des semi-conducteurs, les systèmes de mesure HEIDENHAIN conçus pour fonctionner dans le vide et l'ultra-vide possèdent des caractéristiques de conception adaptées aux exigences strictes de leur environnement de fonctionnement.

    On les retrouve notamment sur :

    - Microscopes à effet tunnel (STM) sous ultra vide poussé (UHV)
    - Microscopes électroniques à balayage
    - Platines de déplacement XY (chariots croisées) pour le vide
    - Montures de translation miniatures, X, XY et XYZ
    - Tables optiques
    - Système de nano et micro positionnement pour le vide

    Ce document présente les définitions des divers classes de vide, et pâsse en revue les solutions proposées par HEIDENHAIN pour répondre aux contraintes de fonctionnement dans ces environnements.