vacuumARAXE commercialise des codeurs linéaires et angulaires innovants conçus pour des applications dans le vide poussé et l'ultravide. Les composants utilisés dans ces systèmes ont été adaptés aux exigences de ces classes de vide, en particulier par rapport aux boîtiers, circuits imprimés, et adhésifs employés. 

Les systèmes de mesure HEIDENHAIN dans leurs versions standard sont compatibles aux classes de vide primaire (vide industriel) et vide moyen.

En revanche, pour le vide poussé et l'ultra-vide, des mesures particulières doivent être prises lors de la fabrication :

 

 

  • Circuits imprimés compatibles
  • Adhésifs et peinture spécifiques (réduction du dégazage)
  • Aménagements des espaces creux pour réduire le temps de pompage
  • Insriptions au laser au lieu des étiquettes
  • Tolérances aux hautes températures
  • Abscence de matériaux ferromagnétiques
  • Câbles spécifiques pour le vide
  • Nettoyage en salle blanche

Applications

Les applications les plus communes dans le vide, à la fois en mesure linéaire et mesure angulaire, comprennent les microscopes électroniques, manipulateurs, tables XY, inspection de plaquettes dans l'industrie des semi-conducteurs, axes de spectromètres pour mesurer le rayonnement synchrotron.

 

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